تجهیزات165- ميكروسكوپ پروب روبشي
در مبحث نانو فناوري، از ابزار ضروري و لازم ميكروسكوپ پروب روبشي يا (SPM (Scanning Probe Microscope هستند. اين روش مجموعه تكنيك‌هايي است كه سطح ماده را با قابليت تفكيكي در حد نانو و آنگستروم روبش كرده و نقشه‌هايي از يك خاصيت فيزيكي يا شيميائي ماده تهيه مي‌كند. با اين روش مي‌توان توزيع نقايص نقطه‌اي، ناخالصي جذب شده در سطح و عيوب ساختاري مانند پله‌ها را آشكار ساخت. ايــن مـيـكــروسـكـوپ‌هـا بـه سـه گـروه اصلـي براساس نوع پروب و نحوه برهم كنش پروب و نمونه تقسيم مي‌شوند.
1(STM -مـيـكـروسـكـوپ روبـشـي تـونلي، Scanning Tunneling Microscopy): در اين روش پروب يك فلز صفحه‌اي نوك تـيـز اسـت كـه جـريـان تونلي بين نوك پروب و سطح رسانائي نمونه برقرار مي‌شود. شدت اين جريان به فاصله بين سطح صفحه با پايه تصوير مربوط است.
2( AFM-مـيكروسكوپ نيروي اتوماتيك، Atomic Force Microscopy): پروب در اين روش يك صفحه نوك تيز بر آمـده اسـت كـه بـه يـك پـايه تخت وصل است. پــروب سـطــح نـمــونــه را اسـكــن مــي‌كـنـد و در محل‌هاي برآمده نيروي بيشتري به پروب وارد مي‌شود. در حقيقت اين روش شبيه سوزن يك گرامافون است كه در سطح يك ديسك حركت مي‌كند.
3( SNOM-ميكـروسكـوپ روبشـي ميـدان ديد نزديك،Scanning Near Field Optical Microscopy): داخل پروب كه به شكل يك صفحه نوك تيز اسـت ، يـك فايبر اپتيك قرار گرفته تا تاثيرات ميدان نزديك را تهيه كند، نور اين فايبراپتيك‌ها از درون روزنـــه‌هــاي سـطــح عـبــور مــي‌كـنــد و نورهاي برگشتي تصوير را تشكيل مي‌دهد.